Mục tiêu Titan Gr1 Gr2, Đĩa phún xạ Titan tinh khiết Mục tiêu Mật độ cao

Đĩa phún xạ titan Gr1 Gr2 titan nguyên chất chất lượng cao

Vật liệu mục tiêu là vật liệu mục tiêu bị bắn phá bởi các hạt tích điện tốc độ cao.Có kim loại, hợp kim, oxit, v.v. Thay thế các vật liệu mục tiêu khác nhau (chẳng hạn như nhôm, đồng, thép không gỉ, titan, mục tiêu niken, v.v.), bạn có thể nhận được các hệ thống phim khác nhau (chẳng hạn như siêu cứng, chống mài mòn, màng hợp kim chống ăn mòn, v.v.).

(1) Mục tiêu kim loại: mục tiêu niken, Ni, mục tiêu titan, Ti, mục tiêu kẽm, mục tiêu Zn, mục tiêu crom, Cr, mục tiêu magiê, Mg, mục tiêu niobi, Nb, mục tiêu thiếc, Sn, mục tiêu nhôm, Al, mục tiêu indium, In , mục tiêu sắt, Fe, mục tiêu nhôm zirconi, ZrAl, mục tiêu nhôm titan, TiAl, mục tiêu zirconium, Zr, mục tiêu nhôm silic, AlSi, mục tiêu silicon, Si, mục tiêu đồng Cu, mục tiêu tantali T, a, mục tiêu germani, Ge, Bạc Mục tiêu, Ag, Mục tiêu coban, Co, Mục tiêu vàng, Au, Mục tiêu gadolinium, Gd, Mục tiêu lantan, La, Mục tiêu yttrium, Y, Mục tiêu xeri, Ce, Mục tiêu vonfram, w, Mục tiêu bằng thép không gỉ, Mục tiêu niken-crom, NiCr, Mục tiêu hafnium, Hf, mục tiêu molypden, Mo, mục tiêu sắt-niken, FeNi, mục tiêu vonfram, W, v.v.

(2) Mục tiêu gốm: mục tiêu ITO, mục tiêu oxit magiê, mục tiêu oxit sắt, mục tiêu silicon nitride, mục tiêu silic cacbua, mục tiêu titan nitrua, mục tiêu oxit crom, mục tiêu oxit kẽm, mục tiêu sulfua kẽm, mục tiêu silicon dioxide, một mục tiêu oxit silic, Mục tiêu xeri oxit, Mục tiêu zirconium dioxide, Mục tiêu niobium pentoxide, Mục tiêu titanium dioxide, Mục tiêu zirconium dioxide, Mục tiêu hafnium dioxide, Mục tiêu titan diboride, Mục tiêu zirconium diboride, Mục tiêu vonfram trioxide, Mục tiêu oxit nhôm, Tantali oxit, Mục tiêu niobium pentoxit, Mục tiêu magie florua , Mục tiêu yttrium fluoride, Mục tiêu kẽm selenua, Mục tiêu nhôm nitride, Mục tiêu silicon nitride, Mục tiêu boron nitride, Mục tiêu titan nitride, Mục tiêu silic cacbua, Mục tiêu lithium niobate, Mục tiêu praseodymium titanate, Mục tiêu bari titanate, Mục tiêu lantan titanate, Mục tiêu oxit niken, phún xạ mục tiêu, v.v.

2. Các yêu cầu thực hiện chính của mục tiêu

(1) Độ tinh khiết

Độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất chính của mục tiêu, bởi vì độ tinh khiết của mục tiêu có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của bộ phim.Tuy nhiên, trong các ứng dụng thực tế, các yêu cầu về độ tinh khiết của các vật liệu đích cũng khác nhau.Ví dụ, với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp vi điện tử, kích thước của các tấm silicon đã tăng từ 6 ", 8" lên 12 ", và chiều rộng dây điện đã giảm từ 0,5um xuống 0,25um, 0,18um hoặc thậm chí 0,13um, độ tinh khiết của mục tiêu trước đó là 99,995% Có thể đáp ứng các yêu cầu kỹ thuật của 0,35umIC, và việc chuẩn bị các dòng 0,18um yêu cầu 99,999% hoặc thậm chí 99,9999% cho độ tinh khiết của mục tiêu.

(2) Hàm lượng tạp chất

Các tạp chất trong chất rắn đích và oxy và hơi nước trong các lỗ rỗng là những nguồn ô nhiễm chính cho màng lắng đọng.Các mục tiêu khác nhau có các yêu cầu khác nhau đối với các hàm lượng tạp chất khác nhau.Ví dụ, các chỉ tiêu nhôm và hợp kim nhôm nguyên chất được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn có các yêu cầu đặc biệt về hàm lượng kim loại kiềm và hàm lượng nguyên tố phóng xạ.

(3) Mật độ

Để giảm các lỗ rỗng trong chất rắn của mục tiêu và cải thiện hiệu suất của màng phún xạ, mục tiêu thường được yêu cầu có tỷ trọng cao hơn.Mật độ của mục tiêu không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ phún xạ, mà còn ảnh hưởng đến các tính chất điện và quang học của phim.Mật độ mục tiêu càng cao, hiệu suất phim càng tốt.Ngoài ra, việc tăng mật độ và sức mạnh của mục tiêu cho phép mục tiêu chịu được ứng suất nhiệt tốt hơn trong quá trình phún xạ.Mật độ cũng là một trong những chỉ tiêu hoạt động quan trọng của mục tiêu.

(4) Kích thước hạt và sự phân bố kích thước hạt

Vật liệu đích thường là đa tinh thể, và kích thước hạt có thể theo thứ tự từ micromet đến milimét.Đối với cùng một loại vật liệu mục tiêu, tốc độ phún xạ của mục tiêu có hạt mịn nhanh hơn so với mục tiêu có hạt thô;độ dày của màng lắng đọng do phún xạ mục tiêu với sự khác biệt nhỏ về kích thước hạt (phân bố đồng đều) thì đồng đều hơn.

3. Chất liệu

TA0, TA1, TA2, TA9, TA10, ZR2, ZR0, GR5, GR2, GR1, TC11, TC6, TC4, TC3, TC2, TC1

4. Mục đích

Nó được sử dụng rộng rãi trong các lớp phủ trang trí, lớp phủ chống mài mòn, đĩa CD và VCD trong ngành công nghiệp điện tử, cũng như các lớp phủ đĩa từ tính khác nhau.

Màng vonfram-titan (W-Ti) và màng hợp kim dựa trên vonfram-titan (W-Ti) là những màng hợp kim nhiệt độ cao với một loạt các đặc tính tuyệt vời không thể thay thế được.Vonfram có các đặc tính như nhiệt độ nóng chảy cao, độ bền cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp.Hợp kim W / Ti có hệ số nhiệt điện trở thấp, ổn định nhiệt và chống oxy hóa tốt.Chẳng hạn như các thiết bị khác nhau yêu cầu dây kim loại đóng vai trò dẫn điện, chẳng hạn như Al, Cu, và Ag đã được sử dụng và nghiên cứu rộng rãi.Tuy nhiên, bản thân kim loại của dây dẫn rất dễ bị ôxy hóa, phản ứng với môi trường xung quanh, độ bám dính kém với lớp điện môi.Nó dễ dàng khuếch tán vào vật liệu nền của thiết bị như Si và SiO2, và nó sẽ tạo thành kim loại và Si ở nhiệt độ thấp hơn.Các hợp chất, hoạt động như tạp chất, làm giảm đáng kể hiệu suất của thiết bị.Hợp kim W-Ti dễ dàng được sử dụng làm rào cản khuếch tán dây dẫn do các đặc tính cơ nhiệt ổn định, tính linh động điện tử thấp, chống ăn mòn cao và ổn định hóa học, đặc biệt thích hợp để sử dụng trong môi trường dòng điện cao và nhiệt độ cao.

2. hình ảnh

3. nhà máy & giấy chứng nhận

4. đóng gói & giao hàng

bưu kiện:

Bọc nguyên liệu tiêu ti bằng bông ngọc trai và cho vào hộp gỗ.Phương pháp đóng gói hợp lý của chúng tôi có thể tránh các nguyên vật liệu mục tiêu va chạm vào nhau trong quá trình vận chuyển, đồng thời có thể ngăn chặn tác động của hàng hóa bên ngoài lên sản phẩm, và đảm bảo rằng sản phẩm sau khi giao hàng được nguyên vẹn.

--- 1.Bao bì kín, sau đó cho vào thùng Carton hoặc thùng ván ép tiêu chuẩn thông thường.

--- 2.Sử dụng thùng carton tùy chỉnh độc quyền với logo của khách hàng, từng bao bì riêng biệt, giúp người mua bán hàng trực tiếp.

--- Chấp nhận yêu cầu của khách hàng

Đảm bảo rằng mỗi gói được thiết kế riêng cho bạn.đảm bảo khi bạn nhận được hàng hóa không bị hư hỏng.